Sputtertechnologie
- Mar 27, 2018 -

Das Sputtern ist eine der Haupttechniken zur Herstellung von Dünnschichtmaterialien. Es verwendet Ionen, die von einer Ionenquelle erzeugt werden, um sich in einem Vakuum zu sammeln, um einen Hochgeschwindigkeits-Ionenstrahl zu bilden, eine feste Oberfläche zu bombardieren und Ionen und Atomen fester Atome einen kinetischen Energieaustausch zu ermöglichen. Die Atome auf der festen Oberfläche werden von dem Feststoff entfernt und auf der Oberfläche des Substrats abgelagert. Der beschossene Feststoff ist ein Ausgangsmaterial zum Abscheiden eines dünnen Films durch Sputtern, das Sputtertarget genannt wird. Verschiedene Arten von gesputterten Dünnschichtmaterialien sind in integrierten Halbleiterschaltungen, Aufzeichnungsmedien, Flachbildschirmen und Oberflächenbeschichtungen von Werkstücken weit verbreitet.


Ein paar: Kostenlose

Der nächste streifen: Sputtertarget