Hafniumoxid-Verdampfungsmaterialien

Goodwill Metal Tech stellt Hafniumoxid-Verdampfungsmaterialien her. Unser Produkt ist gleichbleibend gut in Qualität und Reinheit. Wir stellen auch dotierte Targets nach Kundenwunsch her.

Produkt - Details

Hafniumoxid-Verdampfungsmaterialien

Hafniumoxid (HfO2)

Hafnium (IV) -oxid ist die anorganische Verbindung mit der Formel HfO2. Auch als Hafnium bekannt, ist dieser farblose Feststoff eine der häufigsten und stabilsten Verbindungen von Hafnium. Es ist ein elektrischer Isolator mit einer Bandlücke von 5.3 ~ 5.7 eV.Hafniumdioxid ist ein Zwischenprodukt in einigen Prozessen, die Hafniummetall liefern.

Hafnium (IV) -oxid ist ziemlich inert. Es reagiert mit starken Säuren wie konzentrierter Schwefelsäure und mit starken Basen. Es löst sich langsam in Fluorwasserstoffsäure auf, um Fluorhafnatanionen zu ergeben. Bei erhöhten Temperaturen reagiert es mit Chlor in Gegenwart von Graphit oder Tetrachlorkohlenstoff zu Hafniumtetrachlorid.

Hafnia nimmt die gleiche Struktur wie Zirkonoxid (ZrO2) an. Im Gegensatz zu TiO2, das in allen Phasen sechsfach koordiniertes Ti aufweist, bestehen Zirkoniumoxid und Hafniumoxid aus siebenfach koordinierten Metallzentren. Eine Vielzahl von kristallinen Phasen wurde experimentell beobachtet, einschließlich kubischer (Fm-3m), tetragonaler (P42 / nmc), monokliner (P21 / c) und orthorhombischer (Pbca und Pnma). Es ist auch bekannt, dass Hafniumoxid zwei andere orthohombische metastabile Phasen (Raumgruppe Pca21 und Pmn21) über einen weiten Bereich von Drücken und Temperaturen annehmen kann, vermutlich die Quellen der Ferroelektrizität, die kürzlich in dünnen Filmen von Hafnium beobachtet wurde.

Dünne Filme von Hafniumoxiden, die in modernen Halbleitervorrichtungen verwendet werden, werden oft mit einer amorphen Struktur (üblicherweise durch Atomlagenabscheidung) abgeschieden. Mögliche Vorteile der amorphen Struktur haben Forscher dazu geführt, Hafniumoxid mit Silizium (das Hafniumsilikate bildet) oder Aluminium zu legieren, von denen gefunden wurde, dass sie die Kristallisationstemperatur von Hafniumoxid erhöhen.

BasisinformationenCAS-Registriernummer: 12055-23-1 ChemSpider: 258363 PubChem: 292779Chemische Formel: HfO2Molare Masse: 210,49 g / molAussehen: weißliches PulverDichte: 9,68 g / cm3, festSchmelzpunkt: 2.758 ° C (4.996 ° F; 3.031 K) Siedepunkt: 5.400 ° C (9.750 ° F; 5.670 K) Löslichkeit in Wasser: unlöslich

Hafniumoxid (HfO 2) -Sputterziel

Reinheit --- 99%, 99,9%, 99,99%

Form --- Scheiben, Rechteck, Stäbe, Pellets, unregelmäßig, nach Maß

Dimension --- Scheiben: Durchmesser (≤480mm), Dicke (≥0,5mm)

Rechteck: Länge (≤400mm), Breite (≤300mm), Dicke (≥1mm)

Stangen: Durchmesser (≤480mm), Länge (≤480mm)

Pellets: Durchmesser (≤480mm), Dicke (≥1mm)

Hafniumoxid (HfO2) Verdampfungsmaterial  

Dichte --- 9.68-9.90 g / cm3 Löslichkeit --- In Wasser unlöslich

Reinheit --- 99.99%

Form --- 1-3mm, 1-6mm, 3-6mm

Schmelzpunkt --- 2850 ℃ Dampfdruck bei 2678 ℃ 1 Pa, bei 2875 ℃ 10 Pa

Linearer Expansionskoeffizient --- 5.6 × 10-6 / K
Eigenschaften von Dünnschicht
Übertragungsbereich ~ 220 ~ 12000nm
Brechungsindex bei 250 nm ~ 2,15, bei 500 nm ~ 2
Hinweise zur Verdampfung
Verdampfung mit Elektronenstrahlkanone.
Sauerstoffpartialdruck ~ 1 ~ 2 × 10-2 Pa
Verdampfungstemperatur ~ 2600 ~ 2800 ℃
Substrattemperatur ~ 250 ℃
Abscheiderate 2 nm / s
Verdampfen mit niedriger Energiedichte.

Form --- feste Substanz, weiße oder graue Tabletten, Pulver

Anwendung --- Antireflexbeschichtungen, Interferenzbeschichtungen für das UV.


Hot Tags: Hafniumoxid-Verdampfungsmaterialien, China, Hersteller, Lieferanten, Fabrik, angepasst, Preis

In Verbindung stehende Artikel

Anfrage